三英精控(天津)仪器设备有限公司
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NS-XY25-01XY二维纳米定位台

三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发,并致力于为科学研究、创新研发及精密仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成,满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。

公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体,综合技术指标已达到先进水平。

主要产品:纳米级运动平台系列;微米级宏动系列;纳米位移电容传感器系列;宏微运动集成系统

三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。

准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。

稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。

NS-XY25-01XY二维纳米定位台

典型应用:

显微成像

光学对准

表面检测

高密度存储

半导体加工

技术参数:

型号

NS-XY25-01

运动轴

X/Y

传感器类型

电容式

闭环行程( μm )

25/25

闭环分辨率( nm )

0.1/0.1

线性度( % )

0.03/0.03

无负载下谐振频率( Hz )

2000/2000

端口

D-sub15

材料

铝合金

Zui大负载( kg )

1

自重( kg )

0.5

尺寸( mm )

100 x 100 × 25

适配控制器

SC100-A/SC300-2/SC400-2

注:闭环分辨率与带宽有关。

 

尺寸图:

 3515789952.jpg

如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。

 

 


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