NS-XY25-01XY二维纳米定位台
三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发,并致力于为科学研究、创新研发及精密仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成,满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体,综合技术指标已达到先进水平。
主要产品:纳米级运动平台系列;微米级宏动系列;纳米位移电容传感器系列;宏微运动集成系统
三英精控纳米台特点
平:得益于独特的硬件设计,有效地减少三维偶联影响,保证纳米台全行程的平整度。
准:电容传感器的应用及先进的控制模式和算法,保证纳米台的运动精度。
稳:优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性,保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-XY25-01XY二维纳米定位台
典型应用:
显微成像
光学对准
表面检测
高密度存储
半导体加工
技术参数:
型号 | NS-XY25-01 |
运动轴 | X/Y |
传感器类型 | 电容式 |
闭环行程( μm ) | 25/25 |
闭环分辨率( nm ) | 0.1/0.1 |
线性度( % ) | 0.03/0.03 |
无负载下谐振频率( Hz ) | 2000/2000 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 铝合金 |
Zui大负载( kg ) | 1 |
自重( kg ) | 0.5 |
尺寸( mm ) | 100 x 100 × 25 |
适配控制器 | SC100-A/SC300-2/SC400-2 |
注:闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图:
如有客户需求,三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。
展开全文
相关产品