NS-Z100-01重载Z轴物镜定位台

三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究、创新研发及精密仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成，满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。

公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体，综合技术指标已达到先进水平。

主要产品：纳米级运动平台系列；微米级宏动系列；纳米位移电容传感器系列；宏微运动集成系统

纳米定位平台

纳米运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

三英精控纳米台特点
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。

准：电容传感器的应用及先进的控制模式和算法，保证纳米台的运动精度。

稳：优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性，保证了纳米台长时间的稳定性。

NS-Z100-01重载Z轴物镜定位台

典型应用：

显微成像

晶圆切割

微电子精密加工

物镜调焦及扫描

可更换不同的物镜接口

技术参数：

注：闭环分辨率与带宽有关。

如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的技术支持与服务。